工藝一次及二次配工程

    從主系統預留閥（Take off Valve）接至工藝機臺（Tools）的工藝配管工程。

包含大宗氣體（Bulk Gas）、特氣（Specailily Gas）、排風（Exhaust）、化學品（Chemical）、配電（Power）、工藝真空（PV）、純水（UPW）、冷卻水（PCW）、市政水（CW)、廢液排放（Drain）、泵排（Pump line）。